图⒈22所示为X射线三轴晶衍射仪,X射线自光源发射后,需先经过一个限束装置, BAT54S-NXP以获得单色平行化入射光,此装置可以实现一次、二次、四次或八次反射,具体反射次数要根据具体实验要求选择。此外,在衍射束进入探测器之前,根据需要可以增加一个分析装置(Analyzcr)以实现三轴晶模式,并显著提高分辨率(相对于双晶衍射)D3]。

   X射线三轴晶四圆衍射仪有4个可以有效转动的操作圆,分别为ω、和田圆,其中@是入射光束与样品表面的夹角,2ε为入射光束与衍射光束的夹角。@和2砑口位于衍射平面上,均绕z轴旋转。Z是样品表面与仪器平面的夹角,田圆则是围绕衍射面法线旋转

的操作。不同的操作获得的信息不同,在一般试验中所要使用到的主要是ω扫描和纩2汐联动扫描,前者可以得到外延中位错的信息,反映在晶面的倾斜或扭转,后者则可以获得衍射晶面的面间距,由此可以测量外延层的厚度、晶格参数、应变、组分等信息。同时,结合不同的扫描方式,如Z和田扫描相结合,可以做极图;@扫描和纩2汐扫描结合可以做倒格点mapping,从而形象反映出倒空间中倒易格点的多维分布。