从以上分析不难看出，随着被D1616AB-7测表面位置的改变，射入到D、E两光敏探测器的光强产生差别，只要被测表面稍一离开焦点位置，D、E两光敏探测器所接受的光强就不同。将接收光强转换为电信号，再经电路放大演算，就可以依一定的方测得焦点偏差，从而反映表粗糙度数值的大小。

   图11.4所示是按上述原理设计出的超精密粗糙度计（也称为高精度光学表面传感器）的光路及装置图。

   i-激光二极管（光源）；2-准直透镜：3-偏振光棱镜；4-A/4波片；5-物镜：6-被测表面；7一半透棱镜

   8-临界角棱镜：9-临界角棱镜；A、B、C、D-四个光敏探测器

   图11.4临界角法超精密粗糙度探测装置光路图

   光源1为激光二极管，它所发射的光波波长为780 nm。经准直透镜2、偏振光棱镜3、l1/4波片4、物镜5后照射到被测表面6上。当从被测表面反射的光经物镜5、)1/4波片4、偏振光棱镜3熙射到半透棱镜7上时，光束分为两路。一路穿过半透镜向上射入临界角棱镜8，在临界角棱镜内经两次反射，射入光敏探测器A和B中：另一路从半透棱镜反射到临界角棱镜9中，在临界角棱镜内经两次反射，射入光敏探测器C和D中。