临界角法就是把照射在被测表面上的光的焦点位置测量出来，从而检测表面粗糙度。D16080PGE这种方法的原理如图11.3所示。当被测表面位于物镜的焦点B处时，通过物镜l后变为平行光，再经直角棱镜2反射到两个光敏检测器D和E中。设棱镜的斜面与平行光轴的光束 所夹的角为全反射临界角，那么射入到光敏检测器E和D的光强就相等。

   当被测表面靠近物镜位置A处时，光经物镜1后变为发散光。这时，位于光轴上方的光相对棱镜斜面所夹的角比临界角小，所以部分光束向棱镜外散出（图11.4所示虚线箭头），这样不能全反射到光敏探测器D中，位于光轴下方的光相对棱镜斜面所夹的角比临界角大，所以反射光全能反射到光敏探测器E中。

   若被测表面远离物镜，即位于焦点外C处时，光经物镜1后与A位置相反，变为会聚光。这样，位于光轴上方的光比临界角大，就以全反射射入到光敏探测器D中；光轴下方的光比临界角小，不能全反射到光敏探测器E中，而部分光束从棱镜射出（图11.4所示虚

线箭头）。