二维PSD的工作原理
发布时间:2016/2/6 17:47:00 访问次数:5100
如图9.39 (b)所示,二维PSD有4个电极,一对为x方向,另一对为少方向。光敏DAC0890CIJ面的几何中心设为坐标原点。当光入射到PSD上任意位置时,在x和y方向各有一个唯一的信号与之对应。同一维PSD的分析过程一样,光点M的坐标,k和k'为与PSD有关的常数。
二维PSD主要用于测量光斑在平面的二维坐标,其结构有两面分离型和表面分离型两种形式。如图9.40所示,两面分离型是相互垂直的两个信号电极分别在上下两个表面上,个表面都是均匀屯阻层,与光点位置有关的信号电流先在一个面(上表面)上的两个信号电极(3X,4X7)形成电流厶、Ix,,汇总后又在另一个面(下表面)的两个信号电极(1Y,2Y')形成两路电流/y. /y,o这种形式的PSD电流分路少,故灵敏度较高,有较高的位置线性度和高的空间分辨率。
如图9.39 (b)所示,二维PSD有4个电极,一对为x方向,另一对为少方向。光敏DAC0890CIJ面的几何中心设为坐标原点。当光入射到PSD上任意位置时,在x和y方向各有一个唯一的信号与之对应。同一维PSD的分析过程一样,光点M的坐标,k和k'为与PSD有关的常数。
二维PSD主要用于测量光斑在平面的二维坐标,其结构有两面分离型和表面分离型两种形式。如图9.40所示,两面分离型是相互垂直的两个信号电极分别在上下两个表面上,个表面都是均匀屯阻层,与光点位置有关的信号电流先在一个面(上表面)上的两个信号电极(3X,4X7)形成电流厶、Ix,,汇总后又在另一个面(下表面)的两个信号电极(1Y,2Y')形成两路电流/y. /y,o这种形式的PSD电流分路少,故灵敏度较高,有较高的位置线性度和高的空间分辨率。
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