铝的氧化性活泼，HD10160G其电极电位为负（相对于氢电极），在空气中常生成一薄层Al2 03，它具有保护膜性质。但当有水汽存在时便生成两性的Al(OH)3，它既可溶于酸又可溶于碱，且Al(OH)。的体积比铝的大，使Al2 03变得疏松，露出基底铝，促使铝的进一步腐蚀。

   铝腐蚀模式视铝附近有无电场或其他金属而可分为三种：化学的、电化学的和电腐蚀的（与其他金属构成电池）。铝互连线的电位各处可不等，从而构成单一阳电池而发生电化学腐蚀，条件是要有水的存在作为电解液，电位高处为阳极，电位低处为阴极。铝是两性金属，不论是处于何种极性均可产生腐蚀，如通常所说的器件内长白毛即生成了Al(OH)3

   当水中含有P3+、Cl-、F、Na+等离子时，会加速铝的腐蚀，如

   Na++e一÷Na

   Na+ H20—Na++ OH-J-丢H2十

   Al(OH)3 +CI-—Al(OH)2Cl+OH-

   Al+ 4C1-—，AICl4+3e

   AICl4+3Hz0—Al(OH)3 +3H++4C1-

   Cl-与氢氧化铝反应生成的Al(OH)：Cl是可溶性盐，溶解后露出基底铝，引起进一步反应，Na+等造成OH-离子增加，促进了氢氧化铝的生成，故腐蚀加速。

   PSG钝化层中含磷量一般在0.02～0. 05（重量百分比）之间，对Na+等可动电荷有俘获固定作用。如果含磷量过多，易潮解、吸水成磷酸，PH值增加，也会使铝腐蚀加速。

   Cl-引起的铝腐蚀与磷引起的有明显的区别，Cl-趋向高电位，引起的铝腐蚀多发生在电位较高处，而磷是正离子，引起的腐蚀多发生在电位相对为负的铝上。