细分判向原理
发布时间:2015/5/10 21:15:42 访问次数:931
电子细分方式用于莫尔条纹测长中有好几种,四倍频细分是用得最普遍的一种,AT24C04C-SSHM-T结构如图6 - 23所示。在光栅一侧用光源照明两光栅,在光栅的另一侧用4个聚光镜接收光栅透过的光能量,这4个聚光镜布置在莫尔条纹一个周期召的宽度内,它们的位置互相相差1/4个莫东条纹周期。在各聚光镜的焦点上各放一个光电二极管,进行光电转换用。
当指示光栅移动一个节距时,莫尔条纹变化一个周期,4个光电二极管输出4个相相位差900的近似于正弦的信号Asincot、Acoswt、- Asiruot和- Acoswt。把它输入到如图6-24所示的信号处理电路中去,4个正弦信号经整形电路以后输出为相位互差90。的方波脉冲信号,便于计数器对信号脉冲进行计数。于是莫尔条纹变化一个周期,在计数器中就得到4个脉冲。每一个脉冲就反映1/4莫尔条纹周期的长度,图6 -23四细分透镜读数使系统的分辨率提高了4倍。计数器采用可逆计数器是为了判断指示光栅运动的方向。当工作台前进时,可逆计数器进行加法运算,后退时进行减法运算。整形、细分、判向电路的组成图如图6 - 24所示。
电子细分方式用于莫尔条纹测长中有好几种,四倍频细分是用得最普遍的一种,AT24C04C-SSHM-T结构如图6 - 23所示。在光栅一侧用光源照明两光栅,在光栅的另一侧用4个聚光镜接收光栅透过的光能量,这4个聚光镜布置在莫尔条纹一个周期召的宽度内,它们的位置互相相差1/4个莫东条纹周期。在各聚光镜的焦点上各放一个光电二极管,进行光电转换用。
当指示光栅移动一个节距时,莫尔条纹变化一个周期,4个光电二极管输出4个相相位差900的近似于正弦的信号Asincot、Acoswt、- Asiruot和- Acoswt。把它输入到如图6-24所示的信号处理电路中去,4个正弦信号经整形电路以后输出为相位互差90。的方波脉冲信号,便于计数器对信号脉冲进行计数。于是莫尔条纹变化一个周期,在计数器中就得到4个脉冲。每一个脉冲就反映1/4莫尔条纹周期的长度,图6 -23四细分透镜读数使系统的分辨率提高了4倍。计数器采用可逆计数器是为了判断指示光栅运动的方向。当工作台前进时,可逆计数器进行加法运算,后退时进行减法运算。整形、细分、判向电路的组成图如图6 - 24所示。