集束型装备调度问题一股受以下约束条件限制。 A915BY-470M

   (1)加工时间约束。要求晶圆在加工模块上的加工时间必须满足一定的约束条件,否则会影响晶圆质量。

   (2)加工模块能力约束。加工模块在同一时刻只能加工1个晶圆,当有晶圆在加工模块上加工时,不允许其他晶圆进入该加工模块进行加工。

   (3)机械手能力约束。单臂机械手在同一时刻只能搬运⒈个晶圆,当机械手正在搬运工件时,不允许其他晶圆获得该机械手的搬运服务;双臂机械手可同时搬运2个晶圆。

   (4)多机械手碰撞避免约束。如果系统中配置有多个机械手,则它们之间必须有效地   '协调和合作,并且不能在缓冲模块内发生碰撞冲突,该约束也称缓冲模块约束。调度问题优化目标是;在满足上述约束条件的情况下,合理安排晶圆的加工顺序和调度机械手搬运作业顺序,进而确定晶圆在每个工位的加工开始时间和结束时间,以最大化系统的产能。