光学显微镜l,xl其操作简单、图像苜TPS71025D观的特性,广泛用于集成电路的观测(inspection)。

   随着物理尺寸和缺陷尺寸的缩小,对观测设备的高分辨率要求的提高,扫描电子显微镜(SEM)逐渐代替光学显微镜成为主要观察⒈具。但最终,扫描电镜,其分辨率也不能满足深亚微米技术某些关键尺寸/结构要求,囚此透射电子显微镜及扫描探针技术的应用变得

越来越广。

   表面为曲面的玻璃或其他透明材料制成的光学透镜可以使物体放大成像,光学显微镜就是利用这一原理,把人眼所不能分辨的近处的微小物体放大到人眼足以观察的尺寸。光学显微镜一般由聚光照明系统、物镜.日镜(光学系统)载物台、调焦机构(机械系统)和照相系统组成。聚光照明系统主要由光源和聚光镜构成.光源即能发射光波的物体,光源产生的光束(常为可见光,紫外线/UV,和深紫外线DUⅤ)经聚光镜作用后使其集屮到置于载物台上样品的被观察部分。被观察物体位于物镜前方(离开物镜的距离大于物镜的焦距,但小于两倍物镜焦距),物镜是实现第一级放大的镜头,物体经物镜放大后成一倒立实像,在显微镜的没汁上.将此像落在目镜的一倍焦距之内,使物镜所放大的第一次像(中问像),叉被目镜再一次放大,最终在目镜的物方(L护间像的同侧)、人眼的明视距离(250mm)处形成放大的直立(相对中间像而言)虚像,人眼看到的就是虚像。在观测时,利用调焦旋钮使载物台作粗调和微调的升降运动,使被观察物体调焦清晰成像。

   物镜是显微镜屮对成像质量优劣起决定性作用的光学元件。一般物镜的最大放大倍数为160x或⒛Ox;目镜放大倍数为lOx,囚此,显微镜最大放大倍数为160Ox或2000x。人眼在自然状态下的分辨能力约为0.25um9则显微镜的最大分辨能力为O.16um或0・13um。显而易见,显微镜的分辨极限已经不能满足深亚微米IC结构分析对分辨率的要求。