OBIRCH等雷射技术常用于后段金属互连线的短路
发布时间:2017/11/15 20:11:43 访问次数:412
OBIRCH等雷射技术常用于后段金属互连线的短路,金属层间接触孔的接触不良引起的阻值高等失效问题的诊断;之前的铝互连技术制程中,这种诊断技术非常成熟, TJA1040T/N1非常实用.特别是针对金属层问接触孔类的缺陷诊断;在铜Ⅰ连技术制程中.从实验中看出,对于同层金属互连线的短路,采用OBIRC H竿需射技术诊断不是很有效.对于真汇失效点的探测不够精确,但ΘBIRCH对于金属层问接触孔类的缺陷还是一个非常好用的手段。OBIRCH等雷射技术也可以用于制稆前段器件欧姆特恪失效模式的问题,如E⒐)测试失效。ESI)保护电路中的器件常常伤得很严重,早欧姆特性,()BIR(lH雷射技术常被用来定位这一类失效。
OBIRCH等雷射技术常用于后段金属互连线的短路,金属层间接触孔的接触不良引起的阻值高等失效问题的诊断;之前的铝互连技术制程中,这种诊断技术非常成熟, TJA1040T/N1非常实用.特别是针对金属层问接触孔类的缺陷诊断;在铜Ⅰ连技术制程中.从实验中看出,对于同层金属互连线的短路,采用OBIRC H竿需射技术诊断不是很有效.对于真汇失效点的探测不够精确,但ΘBIRCH对于金属层问接触孔类的缺陷还是一个非常好用的手段。OBIRCH等雷射技术也可以用于制稆前段器件欧姆特恪失效模式的问题,如E⒐)测试失效。ESI)保护电路中的器件常常伤得很严重,早欧姆特性,()BIR(lH雷射技术常被用来定位这一类失效。
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