由于光刻机是技术难度巨大、高投入、高风险并代表世界超精密设备制造的最高技术水平,在激烈的国际竞争中,对光刻设备制造商的要求越来越高。 M93C46-WMN6TP相对来说,那些设计能力差、技术力量单薄、造价高的厂商逐渐被淘汰或兼并。目前,已经形成被三家巨头(荷兰ASMI'公司及日本Nikon公司、Canon公司)垄断的局面。

   ASML公司大约在1998年前后取得世界市场份额的领先地位,截至~9011年,近3年ASML公司占据市场份额的75%以上,尤其在高端市场其优势更加明显,~,OH年的销售收入为56,51亿欧元。目前的产品主要有两类,即TwiⅡcan(XT系列)和Twinscan(NXE系列)。日本的Nlkon公司是光刻机的叉一巨头,其市场份额仅次于ASMI'公司,在最先进机型方面,稍逊于ASMI'公司(但差距不大),只生产⒊epper和⒌anner。虽然Nikon公司的投影光刻机在集成电路制造方面稍逊于A讪IL,但其步进扫描的大面积投影光刻机在平板显示器方面仍为世界领先。日本的Gn°n公司的市场份额比前两家要低些,技术也稍落后一点,但目前也开发出了90nm的ArF步进扫描机,其光学投影光刻在平板液晶显示、磁头等方面有较大优势。