误差补偿与控制  由于整个测量工作不能在一幅画面内完成，这就涉及工件的移动。 FQB33N10为了达到高精度的移动，运动距离的控制必须精确。运动部件由步进电机、高精度漆珠丝杠及滑块等组成。经多次测试，该结构的精度仅能达到±2.5肛m，势必造成整体的测量精度下降。为了提高运动精度，可采用直线感应同步器来实现误差补偿，因为感应同步器具有以下特点。

   ①精度较高，可达±0.5肚m。

   ②受环境温度、湿度变化的影响小。

   ③抗干扰能力强。

   ④使用寿命长。

   ⑤价格较低。

   但对安装精度有一定的要求，主要是平行度及距离的要求。

   控制部分可采用MSC-51单片机。因为MSC-51单片机具有5个中断源（分为两个优先级），有全双工的串行口，便于与上位机通信，另外还有强大的指令系统，所以MSC-51单片机十分适合本系统。

   浮动锥销定位工装夹具是仪器设计的另外一个要点。从前面的测量原理可知，理论上测量结果与HGA的位置无关，但测量结果与HGA的位置有很大关系。由于有的孔既是定位孔又是测量孔，所以这给夹具设计带来一定的难度。采用装配孑L及腰形孔为定位孔，让出基准孔，这样做的目的是为了减小对基准孔图像质量的影响，以便用来进行测量。为了提高定位精度，采用了锥销定位方式。由于测试时，如果采用固定锥销，势必对锥销的尺寸精度提出极高的要求，这是很难做到的，基于这方面的考虑，采用浮动锥销定位方式来解决精庋方面的矛盾。采用这种方式后，定位精度可达±0. Sym，完全满足系统的需要。