AlB尺寸测量仪是基于视觉系统的测量仪器，因此图像处理是整套系统能否实现高精度测量的关键。另外，由于测量中涉及X-y台的移动及HGA的定位问题，FM4808C62所以运动精度和工装夹具的定位也是考虑的重点。

   图像处理仪器的关键是实现高精度的直线边缘及圆心检测。按照目前的图像放大倍数及图像分辨率，一个像素大概相当于4pm，不能满足精度的要求。

   ①亚像素测量  为了实现高精度的直线边缘测量，必须实现亚像素( sub-pixel)测量。亚像素边缘检测算法基本上是根据图像有一定模糊时目标边缘较宽的特点，通过统计方法，利用边缘法线方向的信息确定其边界的亚像素位置。另外，可采用2-D模板拟合的方法计算边界的亚像素位置，但计算量较大。在本系统中，采用统计方法确定边界的亚像素位置。

   ②BLOB分析对于圆心检测可采用BLOB分析。BLOB分析是将圆内的所有像素进行统计，然后计算出这些像素的几何中心作为圆的中心。对于比较光滑圆的边缘来说，测量结果是相当好的。但对于边缘有毛刺的圆来说，测量效果就不太好，对于这种情况，可采用基于切线方向信息的亚像素边缘检测算法。