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设备、仪器能力的控制要求

发布时间:2012/4/28 19:52:44 访问次数:507

    设备的能力、完好性及正确的AP503TR-G1使用、维护对可靠性控制同样有至关重要的意义。很多的失效模式与未能最佳发挥设备能力有关,有些设备必须专项使用(不能混用),有些设备必须定期检定和维护,有些设备必须有余量才能满足工艺需要(例如0. 5ym的光刻机只能刻0.8弘m以上的线条),有些设备必须在一定的条件保证下才能保证工艺的可靠性。因此,只有采用生产自动化程度能满足工艺需要的仪器设备,并加强对仪器设备的管理和维护保养,才能使新品设计的可靠性在研剞生产中得以实现。
    另外,如果测试仪器的精度和能力不能满足要求,对所生产出来的产品可靠性不能作出正确的评价,甚至将不满足工艺要求的半成品流入下道工序,将不满足规范要求和用户要求的产品流入市场。
    设备的能力、完好性及正确的AP503TR-G1使用、维护对可靠性控制同样有至关重要的意义。很多的失效模式与未能最佳发挥设备能力有关,有些设备必须专项使用(不能混用),有些设备必须定期检定和维护,有些设备必须有余量才能满足工艺需要(例如0. 5ym的光刻机只能刻0.8弘m以上的线条),有些设备必须在一定的条件保证下才能保证工艺的可靠性。因此,只有采用生产自动化程度能满足工艺需要的仪器设备,并加强对仪器设备的管理和维护保养,才能使新品设计的可靠性在研剞生产中得以实现。
    另外,如果测试仪器的精度和能力不能满足要求,对所生产出来的产品可靠性不能作出正确的评价,甚至将不满足工艺要求的半成品流入下道工序,将不满足规范要求和用户要求的产品流入市场。
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