确定对工艺参数的控制要SGM2001-1.8XN5求以后，下一步工作就是针对具体的工艺设备，采用正交试验和实验设计方法优化确定应采用的工艺条件。“优化”的核心是要保证所确定的工艺条件标称值，可以使工艺参数对工艺波动不敏感，即在较大的工艺条件波动范围内，工艺参数仍能满足要求。

    进行工艺优化设计时需要进行以下方面的工作：
    ①基础研究。明确产品的开发方针和可行性，收集类似产品的失效信息，分析失效模式与机理。
    ②基本工艺与产品开发。实施基本产品和电路的评价，为控制失效模式与机理，决定基本材料、结构、工艺和设计原则，开发新的评价技术。
    ③总工艺开发。进行近似于产品水平的电路、结构的开发试制及其评价，确立可编制产品标准的技术步骤，降低初期不良率，决定产品功能特性监控和老化条件。
    ④大量生产化的开发和大量生产。大量生产工艺的设计和工艺固化，进行有关工艺试验。