杂质通过SiO2扩散模型的修正
发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:292
为了说明杂质在两种材料的界面的扩散的过程,首先研究两个半无限的sio2和si在界面处的扩散,如图图3.3所示。假设杂质在sio2中均匀分布,初始浓度为n0,在si中的浓度为0,可以得出杂质在二氧化硅中的分布[12]:
图3.3 sio2和si
为了说明杂质在两种材料的界面的扩散的过程,首先研究两个半无限的sio2和si在界面处的扩散,如图图3.3所示。假设杂质在sio2中均匀分布,初始浓度为n0,在si中的浓度为0,可以得出杂质在二氧化硅中的分布[12]:
图3.3 sio2和si
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