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洁净室要素

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:316

洁净室的设计和操作过程都必须防止外界污染的入侵。图5.15 显示了一个典型的加工工艺区域的规划图。有九种控制外界污染的技术，它们是：

1. 粘着地板垫
2. 更衣区
3. 空气压力
4. 空气淋浴器
5. 维修区
6. 双层门进出通道
7. 静电控制
8. 净鞋器
9. 手套清洗器

粘着地板垫。　在每个洁净室入口处放置一块带有粘性地板垫，它可把鞋底的脏物粘住，并保留下来。在有些洁净室里，整片地板的表面都被处理过以收集脏物。大多地板垫都分许多层，当上一层变脏后，可撕掉而露出下一层。

图 5.15 fab区域及更衣区

洁净室的设计和操作过程都必须防止外界污染的入侵。图5.15 显示了一个典型的加工工艺区域的规划图。有九种控制外界污染的技术，它们是：

1. 粘着地板垫
2. 更衣区
3. 空气压力
4. 空气淋浴器
5. 维修区
6. 双层门进出通道
7. 静电控制
8. 净鞋器
9. 手套清洗器

粘着地板垫。　在每个洁净室入口处放置一块带有粘性地板垫，它可把鞋底的脏物粘住，并保留下来。在有些洁净室里，整片地板的表面都被处理过以收集脏物。大多地板垫都分许多层，当上一层变脏后，可撕掉而露出下一层。

图 5.15 fab区域及更衣区

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