中国电子专用设备工业协会的资料显示，2004年中国半导体设备（不含外资在华组装企业）销售额为4.23亿元人民币。SEMI China对2004年中国半导体设备采购额的统计是约224亿元人民币。4.23亿元的销售额、大约1/50的自供能力，使得我们目前对中国半导体设备还很难用“产业”来称呼。

        但中国半导体设备这个“星火”比2003年增长了67%，2005年更是看到了产业化的希望。据中科院微电子所副所长兼EDA中心主任叶甜春，在近日由浙江省半导体行业协会主办的“长三角半导体行业协会联谊会”上介绍，北京北方微电子基地公司研制的100nm刻蚀机、北京中科信公司研制的注入机已在SMIC天津厂进行工艺核验，上海微电子装备公司100nm光刻机今年底开始整机组装、2006年完成样机调试。

        尽管国产半导体设备的技术研发已有局部突破，在快速热处理设备、塑封机、单晶炉、抛光机等部分产品上已用于国内部分6英寸生产线中，但主流大规模生产线基本上被国际半导体制造设备供应商垄断也是个长期存在的事实。

        2005年4月，在位于金桥出口加工区的上海半导体装备产业基地和上海半导体装备产业发展中心揭牌仪式上，上海市经委副主任王坚表示：“到2010年，上海将争取成为世界级的半导体产业基地，引领我国成为继美国、日本后的世界第三大半导体装备制造大国。”据上海集成电路行业协会副秘书长薛自介绍，上海市政府已出资3000万元启动上海半导体装备产业基地的建设，但目前要想进入国内晶圆生产线仍然是件困难的事。

        “一代装备、一代工艺、一代产品”，这是半导体制造业的定律。但动辄2000万美元的光刻机、800万美元的PVD、500万美元的刻蚀机等关键设备，已使12英寸建线资金上升到20～30亿美元。据TEL中国总裁陈捷介绍，2004年国际市场300mm设备已超200mm，2005年300mm设备将会有70～80%增长。陈捷认为，半导体设备供应商要有提供高性能、低成本的新设备能力才有业务增长的可能。叶甜春也表示，低成本解决方案是全球半导体制造业的出路所在。

        以低价将国产设备切入到生产线中，似乎为中国半导体设备业者带来一线希望。中科院微电子所研究员王守国表示，“如果说要花1500万美元买台进口设备的话，那我们能卖到150万美元就相当满意了。”但在目前的中国市场中，低价并不是中国本土公司特有的，TEL目前已在中国通过设备的用材及保修期方面采取灵活策略提供高性能、低成本的新设备，以期吸引中国的二手设备用户。

        但晶圆制造商们在采购设备时，价格高低似乎并不是唯一考虑因素。陈捷表示，设备供应商正在承担更多的技术研发任务，以适应更多的下游用户要求上游厂家提供更广泛的服务，目前晶圆制造工艺技术很多都需设备供应商提供。这就是问题的所在：中国制造商持续的新设备开发能力及相适应的配套服务能力，目前还无法让其下游厂家放心。

        不过在此点上，中国设备厂商与二手设备提供商面临着同样的宿命。尽管二手设备有着先期生产线成功运行案例，只要具有经验丰富的Fab人才，也会将旧设备的维修费用降下来，但二手设备对技术工艺选择窗口毕竟太小，后续升级设备也得不到保证。而用户最担心的供应商倒闭风险，二手设备提供商甚至比中国本土设备厂商更大。在此前提下，中国本土设备厂商的低价策略就有了诱惑力。如果以国际领先供应商1/10的价格来界定中国本土供应商的售价，那么中国目前充满活力的二手设备市场，可能离门庭罗雀不远了。

        在蚕食二手设备市场的同时，积极寻求成为国际大厂配套服务商伺机进入主流市场，也应是中国半导体设备业者的一个选项。陈捷表示，其实进入主流市场并不是技术问题，TEL目前在中国有15～20%销售收入来自服务，因为培育客户很重要。而从日本半导体设备业发展历程来看，正是当初甘为美国厂商做配套服务的定位起到了相当关键的作用。

        美国、日本半导体制造设备业，因为有了巨大的本地市场需求支撑，所以很强大。韩国、台湾，没有足够的本地市场依靠，所以难成气候。中国大陆，已有潜力庞大的本地市场可依托，所以现在的“星火”就有了“燎原”的可能，尽管目前燎原之势还不清晰可见。