定子铁芯由硅钢片叠成。转子由硅钢片或其他软磁材料制成,均匀分布有齿,齿数为z。

转子没有绕组。

当z=4时,三相反应式步进电动机原理。设A相通电时,齿1、3与A-Au对齐,当采用三相单二拍通电方式,即采用A-B-C-A通电方式时,每输入一个脉冲,转子顺时针方向转过30°角,完成三拍转子转过一个齿距角α=为手=9u。

如果改为三相双三拍通电方式,即采用AB-BC-CA-AB通电方式,同样每输入一个脉冲,转子顺时针转过30°角,完成三拍转子转过90°角。

设备采用的模块化设计，可支持不同脉宽(纳秒、皮秒、飞秒)激光器。自主研发的光学系统，可实现光斑宽度及长度连续可调，配合超高精度运动控制平台等技术.

与激光隐切设备完美结合、相辅相成，解决了激光隐切设备对表面材质、厚度、晶向、电阻率的限制，真正实现了工艺的全兼容，对有效控制产品破损率、提高芯片良率有着极大帮助。

FF0~F2中除FF1的J端与FF3的Q端连接外,其余输入端土射妾逻辑1电平。

由JK触发器组成的四位同步二进制可逆计数器逻辑图。该计数器的逻辑功能为:当控制信号(递增/递减选择)X=1时,进行递增计数;当Ⅹ=0时,则进行递减计数。