测量范围、频率范围（带宽）和分辨率是用来量化振动检测节点能力的三个常见特性。通过虚线矩形框显示了这些特性，其边界分别对应最低频率(fMIN)、最高频率(fMAX)、最小幅度(AMIN)和最大幅度(AMAX)。当考虑将 MEMS 加速度计用作振动检测节点中的核心传感器时，系统架构师很可能想在设计早期分析其频率响应、测量范围和噪声行为。有一些简单的技术可用来评估加速度计的各种特性，进而预判其是否满足指定的一组要求。很显然，系统架构师最终必须通过实际验证和鉴定来核验上述估计，但由对加速度计能力的早期分析和预测所得来的期望对这些工作是有价值的。

描述了时域中 MEMS 加速度计对线性加速度(a)的响应(y)。在该关系中，偏置(b)表示传感器无振动时的输出值。比例因子(KA)表示 MEMS 加速度计响应(y)相对于线性加速度(a)变化的改变量。

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制造商

IDT, Integrated Device Technology Inc

制造商零件编号

TSI109-200ILY

描述

IC INTFACE SPECIALIZED 1023FCBGA

对无铅要求的达标情况/对限制有害物质指令(RoHS)规范的达标情况 无铅/符合限制有害物质指令(RoHS3)规范要求

湿气敏感性等级 （MSL） 3（168 小时）

详细描述 主机电桥-Interface-1023-FCBGA（33x33）

应用 主机电桥

接口 PCI

电压 - 电源 -

封装/外壳 1023-BBGA，FCBGA

供应商器件封装 1023-FCBGA（33x33）

安装类型 表面贴装型

测量范围与频率有一定的关系，因为传感器的机械响应会引入某种响应增益，增益响应的峰值出现在谐振频率时。对于 ADXL356 的仿真响应增益峰值约为 4 倍，故测量范围从±40 g 降至±10 g。等式 6 提供了一种分析方法来预测此值，它以等式 5 为出发点：

因子的大幅变化和测量范围的降低，是大多数 CBM 系统希望将其遭受的最大振动频率限制在远低于传感器谐振频率水平的两个原因。

仪器分辨率可定义为环境中引起仪器示数发生可检测变化的最小值。"1 在振动检测节点中，加速度测量的噪声会直接影响其检测振动变化的能力（即"分辨率")。对于那些正在考虑利用 MEMS 加速度计检测其机器平台上微小振动变化的人来说，噪声行为是一个重要考虑因素。

等式 7 提供了一个用于量化 MEMS 加速度计噪声对其分辨微小振动变化能力的影响的简单关系式。在该模型中，传感器的输出信号(yM)等于其噪声(aN)与其经受的振动(aV)之和。因为噪声(aN)与振动(aV)没有相关性，所以传感器输出信号的幅度(|yM|)等于噪声幅度(|aN|)与振动幅度(|aV|)的和方根(RSS)。

(素材：21ic和ttic.如涉版权请联系删除）