作为电源线的第四金属互连层
发布时间:2019/5/1 15:25:03 访问次数:725
1)作为电源线的第四金属互连层。由于光是从另一面入射,电源线可以加工得很厚和很宽以防止电压降。
2)其余的三层金属互连层,作为像素正面的互连金属。
3)被减薄到几个微米厚的硅衬底。
4)用于防止在光射入两个彩色滤光片之间的金属栅格。
5)彩色滤波器阵列,肉眼几乎不可见,图中显示了两个不同的层,红色层和绿色层,或蓝色层和绿色层。
6)最顶部是微透镜阵列。在背照式传感器的顶部看到微透镜阵列可能有些令人意外,但微透镜具有双重功能:聚焦偏离金属栅格区域的光线和聚焦像素中的光线以限制串扰。
图710 背照式的CMOS传感器的扫描电子显微镜截面图(此图由IEEE授权)
1)作为电源线的第四金属互连层。由于光是从另一面入射,电源线可以加工得很厚和很宽以防止电压降。
2)其余的三层金属互连层,作为像素正面的互连金属。
3)被减薄到几个微米厚的硅衬底。
4)用于防止在光射入两个彩色滤光片之间的金属栅格。
5)彩色滤波器阵列,肉眼几乎不可见,图中显示了两个不同的层,红色层和绿色层,或蓝色层和绿色层。
6)最顶部是微透镜阵列。在背照式传感器的顶部看到微透镜阵列可能有些令人意外,但微透镜具有双重功能:聚焦偏离金属栅格区域的光线和聚焦像素中的光线以限制串扰。
图710 背照式的CMOS传感器的扫描电子显微镜截面图(此图由IEEE授权)
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