在单集束型装备中,MIP模型的方法具有灵活高效的特点,调度情形改变往往只要修改少量的约束条件即可适应新的晶圆流模式;MIP模型无须考虑避免死锁的调度策略,FBMH1608HM600-T是否存在可行策略可以根据MIP是否有可行解判断出来;模型无须预先给出调度方式,最优调度可以不是Pull策略方式或swap策略构造的机械手搬运作业序列。MIP模型虽然在单集束型装备中是一种非常有效的方法,但目前在多集束型装备群中应用的文献还比较少。多集束型装备的难点不仅是双臂机械手、并行腔室(加工模块)、重入腔室等复杂需求,而且是不同的机械手之问的相互配合问题。如何用数学公式描述不同机械手之间的配合,以及增加新约束后,模型是否容易求解也是一个大问题。以下根据本章参考文献[26]的成果,介绍在建立时延Pctri网模型的基础上抽象出MIP模型的过程。