本节研究的是图3.1所示的双集束型装备的调度问题。一般不做特殊说明,有如下前提假设。 FBMH1608HM601-T

   (1)每个单集束型装备都至少含有一个PM。

   (2)每个PM只能加工一片硅片(晶圆),当硅片在PM中加工结束后,只有其被机械手取出,才能放入新的待加工的硅片。

   (3)工艺必须按照事先规定好的顺序进行加工。

   (4)每只机械手是单臂或者双臂机械手。

   (5)所有机械手的旋转时间都是常数v。

   (6)机械手在各个腔室的取片时间和放片时间都是常数且相等,记为@。

   (7)晶圆在PM的加工结束后可停留任意时间。

   (8)单集束型装备间共享两个缓存腔室(缓冲模块),缓存腔室不进行任何加工,只用来在单集束型装备问传片。

   (9)调度采用周期性调度方式。