使用最小二乘法进行线性拟合后得到参数C与n。热载流子测试的数据处理通常先要根据得到的参数C与″的值外推电性参数相对变化量Y达到这种应力条件下的某预定值yl盯(如10%的参数漂移)的相应TTFr。 UPD74HC258GST1

   如图15.2所示,我们假设参数漂移达到10/时器件失效,在二组不同应力条件下(应力条件A>B)(r),可以推出相对应的失效时间。

   图15.2 不同应力条件下的失效时间

   得到不同应力条件下的失效时间后,利用相对应的寿命模型可以算出其在工作条件下的寿命,下面以Ib/Id模型为例。

   即衬底漏电流比例模型,通常用于NMΘS的寿命分析,其中A、,,a为拟合参数,Ⅰb为衬底电流,1d为漏电流,W为MoS的栅宽度。衬底漏电流比例模型通过对不同测试条件下每颗样品的r、Ιb、Id等值得到拟合参数A从而得到T作条件下热载流子寿命。