气相输运过程是源蒸气从源到衬底表面之间的质量输运过程。蒸气原子在飞行过程中可能与真空室内的残余气体分子发生碰撞,两次碰撞之OCP2156TWAD间飞行的平均距离称为蒸气原子的平均自由程(λ)。

   基于气体动力学原理,可得页与真空室压力(真空度)P的关系式为 ,d为原子半径。页与P成反比。

   真空室的真空度越高,蒸气原子的平均自由程就越大。在图89中源到衬底表面的距离为L,为避免从源到衬底表面蒸气原子因碰撞被散射或能量降低,应有页)L。因此,蒸镀时必须保持室内真空度足够高,使得从源逸出的原子以直线形式到达衬底表面。假设到达衬底的所有蒸气原子都吸附并保留在衬底表面,且到达各衬底表面的原子流通量也相等,那么到达衬底表面的这些原子占从源蒸发的全部原子的比例应是一常数(设为Κ)。由图810所示的源和接受面的几何一空间关系进行推导,为源表面和衬底表面的方向角,当蒸发源表面和衬底接受面在同一半径为r球体的球面上时.