与注入离子剂量率之间的关系

   剂量率是指单位时间,通过单位面积注人的离子数。注人剂量一定时,M65831AP剂量率越大,注入时间就越短。一般来说,随着剂量率的增加,形成非晶层所需要的临界剂量将减小。

   与晶体取向的关系

   离子是沿靶材料的某一晶向人射,还是随机入射,对于形成非晶层所需要的临界剂量是不相同的。实验证明,在一定条件下,沿某一晶向人射形成非晶层所需要的临界剂量高于随机入射。

   与注入速率的关系

   注人速率一般以单位面积内注人的电流来度量,单位为uA/c耐,也显著地影响非晶层的形成。注人速率增加时缺陷的产生率增加,有利于非晶层的形成,故临界剂量随之降低。