低温光学的检测装置如图3-86所示。光学系统及参考平面反射镜安装在一个真空绝热舱中。 S29AL008D90TFI020向舱中液氮罐灌入液氮,通过冷板传导使光学系统降温。光学系统中各零件的温度用铂电阻测量。由计算机实时监视和控制光学系统的温度。当到达系统预定的检测温度时,电热丝发热,使舱内温度保持恒定。因为光学系统是全反射式的,通过的波段很宽,可以用可见光He~Ne激光波面干涉仪检测光学系统的波面误差,进而对系统的成像质量作出全面的评价,从波面误差计算系统的点扩展数("F)和调制传递函数(MTF)。

   He-Ne激光干涉仪发出的会聚光束,通过真空容器的光学窗口进入光学系统,光线从参考平面镜反射后,回到干涉仪,形成干涉图,测出光学系统的波面误差。