电极材料
发布时间:2016/10/21 18:29:46 访问次数:554
电极材料包括透明电极(IT0,C鹋no3,Zn0)和背电极Al。
EB蒸发、电阻加热蒸发、溅射镀OM6780S006膜等物理方法;喷涂法、CⅤD等化学方法。
目前,溅射镀膜法,特别是磁控溅射的应用最多。
绝缘层材料
绝缘耐压(使绝缘破坏的电场强度)高,针孔等缺陷少,与发光层附着牢固。
(1)非晶态氧化物或氮化物,如Y203,A1203,Ta205,S⒑2,Si3N4。
(2)铁电体,如BaT⒑3,PbT⒑3。
溅射镀膜法是绝缘层主要成膜方式。
电极材料包括透明电极(IT0,C鹋no3,Zn0)和背电极Al。
EB蒸发、电阻加热蒸发、溅射镀OM6780S006膜等物理方法;喷涂法、CⅤD等化学方法。
目前,溅射镀膜法,特别是磁控溅射的应用最多。
绝缘层材料
绝缘耐压(使绝缘破坏的电场强度)高,针孔等缺陷少,与发光层附着牢固。
(1)非晶态氧化物或氮化物,如Y203,A1203,Ta205,S⒑2,Si3N4。
(2)铁电体,如BaT⒑3,PbT⒑3。
溅射镀膜法是绝缘层主要成膜方式。
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