美国联邦标准209E规定空气质量由区域中空气级别数(class number)来表示5。标准按HC4040两种方法设定，一是颗粒大小，二是颗粒密度。区域中空气级别数是指在l立方英尺㈩中所含直径为0.5ht,m或更大的颗粒总数。一般城市的空气中通常包含烟、雾、气。每立方英尺有多达500万个颗粒，所以是500万级。随着芯片部件尺寸的更新换代，不断提高的芯片灵敏度要求越来越小的颗粒6“I。

   图5.6显示了由ISO/（美国）联邦标准209E规定的颗粒直径与颗粒密度的关系。Ml级展示r 300 mm或450 mm晶圆制造生产区域要求的更高的洁净标准，j图5.7列出』，不同环境F-洁净度级别数与对应的颗粒大小．，联邦标准209E规定最小洁净度可到一级，因为209E以0.5 ym的颗粒定义洁净度，而成功的晶圆加工工艺要求更严格的控制，所以_『：程技术人员_I：程师们致力于减少10级和l级环境中0.1r.l,m颗粒的数最。例如，Semetech建议的规范是在加工车间为0.1级和卒气为0.01级7。