晶体生长
发布时间:2015/10/24 19:08:37 访问次数:509
半导体晶圆是从大块半导体材料切割而来的。这种半导体材料,或称为硅锭( ingot),MC9S12DG128MPV是从大块的具有多晶结构和未掺杂本征材料生长得来的。把多晶块转变成一个大单晶,给予正确的定向和适量的N型或P型掺杂,叫做晶体生长( crystal growing)。
使用三种不同的方法来生长单晶:直拉法( Czochralski,CZ)、液体掩盖直拉法和区熔法。
直拉法(CZ)
大部分的单晶是通过直拉法生长的(见图3.9)。设备有一个石英(氧化硅)坩埚,由带有射频( RF)波的线圈环绕在其周围来加热,或由电流加热器来加热。坩埚装载半导体材料多晶块和少量掺杂物。选择掺杂材料来产生N型或P型材料。首先,在1415℃把多晶和掺杂物加热到液体状态(见图3. 10)。接下来,籽晶安置到刚接触到液面(称为熔融物)(见图3.9)。籽晶是具有和所需晶体相同晶向的小晶体,籽晶可由化学气相技术制造。在实际应用中,它们是一片片以前生长的单晶并重复使用。
半导体晶圆是从大块半导体材料切割而来的。这种半导体材料,或称为硅锭( ingot),MC9S12DG128MPV是从大块的具有多晶结构和未掺杂本征材料生长得来的。把多晶块转变成一个大单晶,给予正确的定向和适量的N型或P型掺杂,叫做晶体生长( crystal growing)。
使用三种不同的方法来生长单晶:直拉法( Czochralski,CZ)、液体掩盖直拉法和区熔法。
直拉法(CZ)
大部分的单晶是通过直拉法生长的(见图3.9)。设备有一个石英(氧化硅)坩埚,由带有射频( RF)波的线圈环绕在其周围来加热,或由电流加热器来加热。坩埚装载半导体材料多晶块和少量掺杂物。选择掺杂材料来产生N型或P型材料。首先,在1415℃把多晶和掺杂物加热到液体状态(见图3. 10)。接下来,籽晶安置到刚接触到液面(称为熔融物)(见图3.9)。籽晶是具有和所需晶体相同晶向的小晶体,籽晶可由化学气相技术制造。在实际应用中,它们是一片片以前生长的单晶并重复使用。
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