第4种状态就是等离子体。恒星UC2852N就是一个典型的例子，它当然不符合固体、液体或气体的定义。等离子体是高能电离原子或分子的集合，在工艺气体上施加高能射频( RF)场可以诱发等离子体。宦可用于半导体技术中促使气体混合物化学反应，它的一个优点就是它跟对流系统（如烤箱里的对流加热）相比，能量可以在较低的温度下传递。

   所有物质都可用其化学组成和由化学组成而决定的性质来区分。在这一节中，将定义好几个重要性质，这些都需要通过与半导体材料和工艺化学品打交道来理解。

   不管是在氧化管中还是在等离子刻蚀反应室内，化学品的温度都对其化学品的反应发挥着重要影响，而且一些化学品的安全使用也需要了解和控制化学品的温度。有3种温度表示方法，用于标识材料的温度，它们是华氏( Fahrenheit)温标，摄氏(Celsius)温标和开氏( Kelvin)温标（见图2.17）。

   华氏温标是由德国物理学家Gabriel Fahrenheit用盐和水溶液开发的。他把（饱和）盐溶液的冰点温度定为华氏零度(。F)，遗憾的是，纯水的冰点温度更有用，结果是在华氏温标中水的冰点温度为32。F，沸点温度为212下，两点之间相差180。F。

   摄氏或百分温标(℃)在科学研究中更为常用，将纯水冰点设为0℃，沸点设为100℃更有意义。注意这样在冰点和沸点之间正好是100℃，这也意味着在摄氏温标中改变1度此华氏温标中需要更多的能量。