本书前几章主要阐述单一光源与分立敏感元探测器集成封装于微型气室光路的检测原理、 AT49F512-70TC方法及应用分析，随着目前MEMS及集成技术的发展，新材料、新工艺及新方法将促使这种检测模式向微小型方向发展，作者受前期研究工作及多年来从事微纳传感器及其系统集成工作的启发，本章主要提出了一种基于黑硅吸收层的多层纳米膜探测器和一种集红外光源、参比敏感元及三气体敏感元于一体的MEMS红外气体传感器新结构。此研究同时也得了国家自然科学基金重点项目的资助，拟计划在5～10年内实现集成纳米结构光源与多敏感元一体化的MEMS红外气体传感器，并将希望广泛应用于物联网领域的需求中。

    基于非色散红外( NDIR)吸收光谱技术的红外气体传感器克服了以往催化原理、电化学原理气体传感器容易中毒老化、寿命短等缺点，具有检测准确度高、量程大、可靠性高、使用寿命长等公认的优点，从而成为研究的热点和未来发展方向。但是长期以来由于传感器基本为单一光源与分立敏感元集成外加气室光路的模式，致使其没有得到广泛的推广应用，更重要的是国内产品基本上均为进口国外核心元件进行组装，图8.1所示为红外气俸传感器的发展趋势分析。因此，面向物联网发展，研究满足更高集成度、低成本、低功耗和长使用寿命等要求，开发具有自主知识产权的红外气体传感器尤为迫切。