莫尔条纹与光栅栅距误羞的关系
发布时间:2015/5/30 17:09:58 访问次数:1809
莫尔条纹与光栅栅距误羞的关系。可以看出,莫尔条纹是光栅副的很多条栅线综合作用的结果。 EF6024AFC256在实际应用中,条纹信号都采用具有一定光敏面积的光电器件进行接收。将条纹光信号转换成电信号而输出。如果光栅的某一栅距有误差,虽然该
栅线交点的连线不在一条直线上,但通过光电接收器所接收到的条纹光信号是整个光敏面区域内所有栅线交点的综合结果,因此对各栅距的误差起了平I均作用。所以莫尔条纹具有平均光栅误差的作用。
根据偶然误差规律,假设单个栅距误差为艿,形成莫尔条纹区域内有Ⅳ条栅线,则综合栅距误差△.
例如,对于栅距c=0.02mm的光栅来说,假定单线误差6=lpm,若采用10×lOmm的硅光电池接收莫尔条纹,则Ⅳ= 1010. 02= 500,由式(4- 13)求得光栅的综合栅距误差△:±0. 04ym。这说明因莫尔条纹对栅距误差的平均作用,使实际误差减小了20多倍。根据莫尔条纹的这一特性,一方面可以比较容易地实现高精度测量;另一方面还可以利用光栅来控制制造光栅。也就是采用精度较低的光栅,得到精度很高的莫尔条纹,用莫尔条纹再控制光栅刻线机,刻制出高精度的光栅,使后一代光栅比前一代光栅的质量更高。这就是光学优生法原理。
莫尔条纹与光栅栅距误羞的关系。可以看出,莫尔条纹是光栅副的很多条栅线综合作用的结果。 EF6024AFC256在实际应用中,条纹信号都采用具有一定光敏面积的光电器件进行接收。将条纹光信号转换成电信号而输出。如果光栅的某一栅距有误差,虽然该
栅线交点的连线不在一条直线上,但通过光电接收器所接收到的条纹光信号是整个光敏面区域内所有栅线交点的综合结果,因此对各栅距的误差起了平I均作用。所以莫尔条纹具有平均光栅误差的作用。
根据偶然误差规律,假设单个栅距误差为艿,形成莫尔条纹区域内有Ⅳ条栅线,则综合栅距误差△.
例如,对于栅距c=0.02mm的光栅来说,假定单线误差6=lpm,若采用10×lOmm的硅光电池接收莫尔条纹,则Ⅳ= 1010. 02= 500,由式(4- 13)求得光栅的综合栅距误差△:±0. 04ym。这说明因莫尔条纹对栅距误差的平均作用,使实际误差减小了20多倍。根据莫尔条纹的这一特性,一方面可以比较容易地实现高精度测量;另一方面还可以利用光栅来控制制造光栅。也就是采用精度较低的光栅,得到精度很高的莫尔条纹,用莫尔条纹再控制光栅刻线机,刻制出高精度的光栅,使后一代光栅比前一代光栅的质量更高。这就是光学优生法原理。