显微系统的参数
发布时间:2015/5/24 17:25:58 访问次数:938
1)显微系统的参数
光学仪器中显微系统大致可分为两类:一类HFS7N60用来观察物体表面微观轮廓(如表面粗糙度);另一类用来瞄准或读数。前者主要考虑分辨率,并由它决定其数值孔径、放大率等一系列参数;后者则是从瞄准、读数精度出发来决定其参数的。由此可知,这种显微系统的结构参数是不同的。
(1)放大率。用于分辨细节的显微系统,希望有较大的放大率,对某些仪器它只是名义值。用于瞄准、读数的显微系统的放大率不高(一般不超过100倍),但其物镜的放大率必须严格准确,否则会直接造成测量误差。因此在设计时应考虑其结构形式,便于装配、调整其放大率到准确的数值。
(2)数值孔径。由分辨率决定了用作微观观察的显微系统应具有较大的数值孔径;而瞄准用的系统的放大率不高,数值孔径也必然较小,系统的景深也就较大,因此这类系统不能用作光轴方向的精密定位。
(3)视场。由拉格朗日不变量可以知道,一个系统的数值孔径和视场不能同时都增大。数值孔径大的系统,视场较小;而当数值孔径小时,可以有较大的视场。
(4)工作距离。用于微观观察用的显微系统,其工作距离都很短,使用上也没有什么特别要求;而瞄准、定位用的显微系统,往往要求有较长的工作距离。
1)显微系统的参数
光学仪器中显微系统大致可分为两类:一类HFS7N60用来观察物体表面微观轮廓(如表面粗糙度);另一类用来瞄准或读数。前者主要考虑分辨率,并由它决定其数值孔径、放大率等一系列参数;后者则是从瞄准、读数精度出发来决定其参数的。由此可知,这种显微系统的结构参数是不同的。
(1)放大率。用于分辨细节的显微系统,希望有较大的放大率,对某些仪器它只是名义值。用于瞄准、读数的显微系统的放大率不高(一般不超过100倍),但其物镜的放大率必须严格准确,否则会直接造成测量误差。因此在设计时应考虑其结构形式,便于装配、调整其放大率到准确的数值。
(2)数值孔径。由分辨率决定了用作微观观察的显微系统应具有较大的数值孔径;而瞄准用的系统的放大率不高,数值孔径也必然较小,系统的景深也就较大,因此这类系统不能用作光轴方向的精密定位。
(3)视场。由拉格朗日不变量可以知道,一个系统的数值孔径和视场不能同时都增大。数值孔径大的系统,视场较小;而当数值孔径小时,可以有较大的视场。
(4)工作距离。用于微观观察用的显微系统,其工作距离都很短,使用上也没有什么特别要求;而瞄准、定位用的显微系统,往往要求有较长的工作距离。
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