掩膜版数据有以下集中格式:具有等级分别(hierarchical)的GDSII,最早由美国通用电气的Calma部门开发,现在法律归属权由Cadence设计系统公司所有。 JA3215-OS-A04在掩膜版扫描曝光机上,GDSII的使用不方便,机器希望连续和“平坦”的数据流。()DSII具有等级分别,重复的数据在存储上只有一个非重复的单元,虽然节省空间,但是对于掩膜版光刻机来讲需要增加几何和逻辑计算时闸。所以,等级分别必须去掉。不仅如此.设计图样当中的任意大小多边形(pol蹭ons)也必须分解为一些原始的图形・如长方形和工角形。最终,将平坦化的掩膜版数据再分解为光刻头的分区的数据流,叫做“分解”(fracturing)。

   电子束曝光的优点是分辨率较高,当前先进的曝光机使用的电压为50kV。但是,由于高能电子在掩膜版上的散射,会再次将掩膜版表面的光刻胶曝光。造成所谓的邻近效应(proximity effecO。在有邻近效应的掩膜版光刻I艺当中,会出现如图7,86所示的现象。

解决邻近效应的方法有很多,如使用补偿曝光方式,在有邻近效应的地方对曝光进行补偿。我们在前面已经讲到,离轴照明可以提高对密集图形的I艺窗口。对于空间周期p在0.5^/NA与^/NA之问的图形有着不错的工艺窗口。离轴照明所形成的两束光(零级和1级或者-1级)成像可以使得空间周期夕在0.5λ/NA与^/NA之间的图形曝光成为可能。也就是说,上述图形的空间像对比度(image∞ntrast)或者能量宽裕度(Exposure I'atitude,EI')会被大大提升。离轴照明的另一个好处是对焦深度,即焦深(Depth of Focus,D(,F)也会被大大加强。早期使用离轴照明的研究请见文献E46~48],当我们使用传统照明方式,即人射光垂直于掩膜版平面,我们将获得三束光成像的情况。注意到在焦点上,0级和+1级、-1级的相位都相等。不过在离焦的位置上由于±1级衍射光走过的距离同轴上的O级衍射光不同,当离焦达到一定的程度,O级和+1级、-1级的相位会变得相反,这样的对焦深度是有限的。但是如果我们选择斜人射,可以看出,对于空问周期夕在0,5^/NA与^/NA之间的图形,进入光瞳的衍射级只可能有两级。如果我们精确调节入射角,使得1级衍射光和零级衍射光之间相对竖直的光轴的夹角相等,那么随便离焦等于什么,这两束光在光轴上任何一点上的相位都相等,或者焦深等于无穷大。不过,我们不可能使用完全相干的光,一定大小的部分相干性会导致焦深的迅速缩小,至刂达正常状态。