离散事件系统和连续系统都随不同时间类型的变化而变化,但离散事件系统是更加复杂的动态系统。K9F1G08UOB-PCBO通常,连续系统是指各个状态变量随时间连续改变的系统,而离散事件系统的活动和状态是在离散时间点上发生的改变,具备如下特征:事件驱动、异步、并发性、冲突、非确定性、死锁和相互抑制等。离散事件系统建模的复杂程度较高,而且难以用传统的数学方法来描述。

   离散事件系统通常包含实体、属性、事件、活动、进程和状态等必要的因素。针对集束型装备而言,上述因素的具体含义如下。

   (1)实体是指离散系统的详细对象,如晶圆、加工模块和机械手等。

   (2)属性是指实体的某些特征,如工序的加工时间、机械手搬运作业的时间等。

   (3)使系统状态发生改变的称为事件,如晶圆在加工过程中触发相应的控制条件,使系统按照一定的规则加工。

   (4)活动是指系统状态发生改变的过程,如晶圆在工序中的加工过程,以及机械手运送晶圆的过程等。

   (5)进程则是由事件的触发序列组成,旨在描述对象的实体分配资源的过程。

   (6)状态是指在特定时刻系统状态的标识。