模型扩展
发布时间:2017/11/27 21:46:35 访问次数:513
本节假设在腔体加工时间相同的条件下,推导出Ⅳ腔体并行集束型装各稳态时期的吞吐量模型,R10934EC在此把它们扩展到加工腔体加工时间不同的情况。在加工约束条件下,当加工腔体加工时间不同时,系统稳态时序图如图⒉5所示,实矩形表示腔体实际加工时问,虚线矩形表示可以接受的加工时间变化范围。从图⒉5中描述可见,如果加工时间在虚线矩形范围内变化,它的变化并不影响基本周期,晶圆加工的基本周期仍由最长加工时间决定。通过以上分析可以得出结论,加工约束状态下,当各个腔体的加工时间不同时,也可以应用推导出的稳态时期吞吐量理论模型,模型中加工时问由所有加工腔体中的最长加工时间决定。
本节假设在腔体加工时间相同的条件下,推导出Ⅳ腔体并行集束型装各稳态时期的吞吐量模型,R10934EC在此把它们扩展到加工腔体加工时间不同的情况。在加工约束条件下,当加工腔体加工时间不同时,系统稳态时序图如图⒉5所示,实矩形表示腔体实际加工时问,虚线矩形表示可以接受的加工时间变化范围。从图⒉5中描述可见,如果加工时间在虚线矩形范围内变化,它的变化并不影响基本周期,晶圆加工的基本周期仍由最长加工时间决定。通过以上分析可以得出结论,加工约束状态下,当各个腔体的加工时间不同时,也可以应用推导出的稳态时期吞吐量理论模型,模型中加工时问由所有加工腔体中的最长加工时间决定。
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