缺陷 随机性和系统性缺陷
发布时间:2017/11/19 17:32:53 访问次数:1205
缺陷 随机性和系统性缺陷OMAP1623B1ZWE
缺陷一般会导致功能性测试失败,例如存储器的读、写异常,逻辑电路的运算结果错误,等等。引起失效的缺陷,从来源上讲可能是可见的,也有可能是不可见的(如清洗丁艺产生的静电),见图17,13。
从空间分布特征上看,可能是随机性分布,或者具有某种系统性特征。Systematic缺陷,在wafer上经常表现出Cluster fad,或者很强的spatial pattcrn。而随机性缺陷一般不表现出聚集效应。
缺陷 随机性和系统性缺陷OMAP1623B1ZWE
缺陷一般会导致功能性测试失败,例如存储器的读、写异常,逻辑电路的运算结果错误,等等。引起失效的缺陷,从来源上讲可能是可见的,也有可能是不可见的(如清洗丁艺产生的静电),见图17,13。
从空间分布特征上看,可能是随机性分布,或者具有某种系统性特征。Systematic缺陷,在wafer上经常表现出Cluster fad,或者很强的spatial pattcrn。而随机性缺陷一般不表现出聚集效应。
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