解到 前而介绍了具有高能童的人射电子束勹罔体样甜l的原子核及核外电子发,可T018-002P产多种物理信号:工次电子、背散射电子、吸收电子、俄歇电子、特征X射线等,扫捕电镜最常使用的是二次电子信号和背散射电子信号.前者用于显示表面形貌衬度.后者川于形示原子序数衬度。下面分别介绍利用这些物理信号进行电子成像的机制和模式。

   工次电子:二次电子成像是扫描电镜像中应用最普遍的成像机制。二次电子指被人射电:f轰击出来并逸出样品表面的核外电子.它来白距样品表面5~1Onm深度范围,能量为二次电子对样品表面形貌十分敏感,能有效地显示试样表而的微观形貌。由于它发阝i样品表层,人射电子还没有被多次反射,因此产生二次电子的面积与人射电子的照射面积没有多大l×别,所以工次电子的分辨率较高。扫描电镜的分辨率一般就是工次电f分辨率。