背散射电子:被固体T0505DH样品原子反弹回来的一部分人射电子,它来自样品表层几百纳米的深度范围,其能量大大高于二次电子能量,所以背散射电子图像的空间分辨率比二次电子信号差。背散射电子包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子,弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来的,散射角大于90°的那些入射电子,其能量基本上没有变化(能量为数千到数万电子伏),弹性背散射电子能量近似于入射电子能量;非弹性背散射电子是人射电子和核外电子撞击后产生的,不仅能量变化,而且方向也发生变化,非弹性背散射电子的能量范围很宽,从数十电子伏到数千电子伏。从数量上看,弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占的份额多。对平整的样品表面,背散射电子产额随原子序数的增加丽增加,不仅能用作形貌分析,也可用来显示原子序数衬度。人射电子束与固体样品作用产生物理信号的能量和数目如图14.24所示。

   特征X射线:样品中原子受人射电子激发后,原子就会处于能量较高的激发状态,此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺,在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射,即特征X射线,其发射深度可达几个微米范围。特征X射线展成谱的方法:是X射线能量色散谱方法(Energy Dispersive Ⅺray Spectroscopy,EDS),作为扫描电镜的附件,广泛用于微区元素成分分析。EDS的分辨率约为150eV。