【MS54XX指令（RoHS ）*微型SMD压力传感器1，图5 ，图7和12巴的绝对压力范围无偿压阻式】,IC型号MS5407-AM,MS5407-AM PDF资料,MS5407-AM经销商,ic,电子元器件-51电子网

MS54XX指令（RoHS ）

微型SMD压力传感器

1，图5 ，图7和12巴的绝对压力范围

无偿

压阻式硅微机械传感器

小型表面安装6.2× 6.4毫米

低噪声，高灵敏度，高线性度

符合RoHS标准&无铅*

描述

该MS54xx SMD压力传感器系列是专为压力传感器系统的最高要求上

分辨率和精度。该装置由一个硅微机械压力传感器管芯安装在一个6.2

X 6.4毫米陶瓷载体由一个金属盖保护。该MS54XX可以在一个高度敏感的版本被递送

给出最大输出电压或以高度线性版本给出线性输出电压成正比的

所施加的压力。

满量程

压力

1条

5条

7条

12条

MS5407-AM

392毫伏/

0.2 ％ FS

MS5412-BM

150毫伏/

0.05 ％ FS

高灵敏度版本

产品编号

MS5401-AM

高线性度版本

产品编号

MS5401-BM

MS5405-BM

满量程/线性

240毫伏/

0.2 ％ FS

满量程/线性

150毫伏/

0.05 ％ FS

150毫伏/

0.05 ％ FS

特点

低成本的SMD陶瓷封装

小型

高可靠性，低漂移

-40°到+ 125 ℃的工作范围

凝胶防止湿气和水

应用

绝对压力传感器系统

高分辨率的高度计， variometers

气压表

发动机控制

防水手表和潜水电脑

轮胎压力监测系统（ TPMS ）

引脚配置

3 ： VS +

4 ： OUT +

1 ： OUT-

2 ： GND

欧盟RoHS指令2002/95 / EC （使用某些有害物质的电器和电子设备中限制）

禁止使用铅，汞，镉，六价铬，多溴联苯（PBB ）和多溴联苯醚

（ PBDE ）。

DA54XX_011

000054xx280 ECN 927

2007年5月9日

引脚说明

引脚名称

OUT-

GND

VS +

OUT +

PIN号

功能

惠斯通电桥的负输出电压

地

惠斯通电桥的供电电压

惠斯通电桥的正输出电压

绝对最大额定值

参数

电源电压

储存温度

超压MS5401 -AM

MS5401-BM

MS5407-AM

MS5405-BM

MS5412-BM

符号

VS +

条件

TA = 25℃

民

-40

最大

+125

单位

笔记

(1)

(2)

(3)

TA = 25℃

BAR

笔记

1） MS5401 - BM为合格参照ISO标准2281 ，并能承受11巴的绝对压力下在

盐水或分别为100米防水。

2） MS5407 - AM是合格参照ISO标准2281和可以承受的绝对压力

21条在盐水中或分别200米水。

3） MS5405 - BM为合格参照ISO标准2281和可以承受的绝对压力

26条在盐水中或分别250米水。

DA54XX_011

000054xx280 ECN 927

2007年5月9日

电气特性

高灵敏度版本

（ VS + = 5 V ， TA = 25℃ ）

参数

工作压力范围

MS5401-AM

满量程（ FS ）

灵敏度

线性

工作压力范围

MS5407-AM

满量程（ FS ）

灵敏度

线性

工作温度范围

零压力偏置

压力滞后

所有范围

温度迟滞

重复性

电桥电阻

电阻的温度COE FFI cient

跨度温度系数

偏移量的温度系数

民

190

322

-40

3.0

+2’400

-1’500

-80

典型值

240

±0.15

392

±0.15

0.3

3.4

2’900

-1’900

最大

290

±0.4

462

±0.4

125

±0.20

0.8

±0.20

3.8

+3’300

-2’300

+80

单位

BAR

毫伏/条

％ FS

BAR

毫伏/条

％ FS

PPM /°C的

μV/°C

笔记

1, 6

2, 6

3, 6

4, 6

5, 6

笔记

1 ）在偏差的最小二乘最佳拟合线以上压力范围一半满量程压力。

输出电压后1压力循环在工作压力范围内的任何压力2）最大差

范围内。

3 ）最大的区别在后一个热周期偏移在-40 °C至+ 125 °

4）在10个压力循环同2）。

5）从25 °到60°斜坡的终点的直线的

6 ）未经过100％测试。

DA54XX_011

000054xx280 ECN 927

2007年5月9日

电气特性（续）

高线性度版本

（ VS + = 5 V ， TA = 25℃ ）

参数

工作压力范围

MS5401-BM

满量程（ FS ）

灵敏度

线性

工作压力范围

MS5405-BM

满量程（ FS ）

灵敏度

线性

工作压力范围

MS5412-BM

满量程（ FS ）

灵敏度

线性

工作温度范围

零压力偏置

压力滞后

所有范围

温度迟滞

重复性

电桥电阻

电阻的温度COE FFI cient

跨度温度系数

偏移量的温度系数

民

120

-40

3.0

+2’400

-1’500

-80

TYPE

150

±0.05

150

±0.05

150

12.5

±0.05

0.3

3.4

2’900

-1’900

最大

180

±0.2

180

±0.15

180

±0.15

125

±0.20

0.8

±0.20

3.8

+3’300

-2’300

+80

单位

BAR

毫伏/条

％ FS

BAR

毫伏/条

％ FS

BAR

毫伏/条

％ FS

PPM /°C的

μV/°C

笔记

1, 6

2, 6

3, 6

4, 6, 7

5, 6

笔记

1 ）在偏差的最小二乘最佳拟合线以上压力范围一半满量程压力。

输出电压后1压力循环在工作压力范围内的任何压力2）最大差

范围内。

3 ）最大的区别在后一个热周期偏移在-40 °C至+ 125 °

4）在10个压力循环同2）。

5）从25 °到60°斜坡的终点的直线的

6 ）未经过100％测试。

7 ） MS5412 - BM ：马克斯。 0.3 ％ FS

8 ）该传感器系列的线性优化;它适用于具有较高压力的应用场合

线性度的要求是不那么重要。

DA54XX_011

000054xx280 ECN 927

2007年5月9日

应用信息

一般

该MS54XX是一个小型化的绝对压力传感器系列已被设计用于表面安装

应用程序。它的主要优点是在半导体传感器的高的可靠性和设计，这使得

它适用于要求小规模的和具有成本效益的解决方案的应用。

该MS54XX的传感器元件包括一个微机械加工的硅膜与硼硅玻璃的圆片

在真空条件下粘接到背面为参考压力。植入式电阻器利用压电的

阻效应来感测压力施加到该膜上。该传感器被安装在一个特殊的过程

从而允许最佳的偏移稳定性使得部分适合直接印刷电路板组装。

典型应用该微型压力传感器MS54xx是高度的测量和

在医疗和工业设备的大气基准压力，以及在汽车计量

和家庭应用，消费类电子和气动。

满量程

压力

1条

5条

7条

12条

湿度，缺水保护

该MS54XX带有防腐蚀，防磁不锈钢防护罩充满了硅凝胶

加强保护，防止潮湿。该凝胶的性质确保了传感器的功能，即使在时

水直接接触。此功能可用于防水的手表或其他应用中，直接用水有用

不能避免接触。尽管如此，用户应避免例如像盐硬物料的干燥

颗粒上的有机硅凝胶的表面。在这种情况下，最好用干净的水冲洗之后。特别护理

已经将要采取的不受到机械损坏凝胶。损坏的凝胶可能导致空气进入，并

因此不稳定的传感器信号，尤其是如果损害是靠近传感器表面。

金属罩，以避免任何腐蚀电池效应制成的特殊防腐不锈钢

内的最终产物。该MS5401 -BM有资格参照ISO标准2281 ，并能承受

第11条在盐水中的压力。用于鉴定的见水的浓度为41克看到盐

对于1升去离子水。该MS5405 -BM和MS5407 -AM也曾通过盐水试验用压力

第26和21条分别能力。

对于在ISO 2281标准规定的水下作业是密封的传感器，橡胶是重要的O-

环周围的金属帽。任何盐水来将传感器的与接触面（陶瓷和焊盘）可以

导致永久性损伤。特别是对于"water耐100 m"手表和潜水电脑，它是

建议提供来自传感器的背侧的稳定的机械推动器。否则，

过压可能的传感器推向后，甚至弯曲的电子板，其上的传感器是

装。

光敏感度

该MS54XX是日光敏感，尤其是对红外光源。这是由于强烈的照片效果

硅。作为效应是可逆的就没有损害，但用户必须要小心，在最终产物中

操作过程中，传感器不能暴露在直射光线下。这可以通过将实现例如

机械零件在这样的轻空穴能不能通过。

DA54XX_011

2007年5月9日

电子秤

高灵敏度版本

(MS54XX-AM)

变仪，高度计，气压计

高线性度版本

(MS54XX-BM)

高端高度表，医疗

仪器仪表

潜水电脑标250米

潜水手表，轮胎气压，高端

电子秤

气动刹车，潜水电脑

000054xx280 ECN 927

MS54xx

微型SMD压力传感器

1 ， 7 ，12，和70巴的绝对压力范围

无偿

压阻式硅微机械传感器

小型表面安装

陶瓷， PCB载

低噪声，高灵敏度，高线性度

符合RoHS标准&无铅

描述

该MS54xx SMD压力传感器系列是专为压力传感器系统的最高要求上

分辨率和精度。该装置由一个硅微机械压力传感器管芯安装在一个

6.2× 6.4毫米陶瓷载体或6.1 X 6.3毫米板由金属或塑料盖保护。该MS54xx可

交付的高灵敏度版本给予最大输出电压或在高线性度的版本。这两个版本

提供输出电压正比于所施加的压力。

满量程

压力

1条

陶瓷的

7条

12条

70条

PCB

1条

MS5470-AM

MS5401-APF

310毫伏/ ± 0.25 ％FS

240毫伏/

0.2 ％ FS

MS5401-BPF

150毫伏/

0.05 ％ FS

高灵敏度版本

产品

CODE

MS5401-AM

MS5407-AM

高线性度版本

产品

CODE

MS5401-BM

支架

满量程/

线性

240毫伏/

0.2 ％ FS

392毫伏/

0.2 ％ FS

满量程/

线性

150毫伏/

0.05 ％ FS

150毫伏/

0.05 ％ FS

MS5412-BM

特点

低成本SMD封装

小型

高可靠性，低漂移

-40°到+ 125 ℃的工作范围

凝胶防止湿气和水

应用

刹车系统

高分辨率的高度计， variometers

气压表

发动机管理系统

防水手表和潜水电脑

轮胎压力监测系统（ TPMS ）

欧盟RoHS指令2002/95 / EC （使用某些有害物质的电器和电子设备中限制）

禁止使用铅，汞，镉，六价铬，多溴联苯（PBB ）和多溴联苯醚

（ PBDE ）。

DA54xx_014

000054xx280 ECN 1243

2009年6月15日

引脚配置

3 ： VS +

4 ： OUT +

1 ： OUT-

2 ： GND

引脚说明

引脚名称

OUT-

GND

VS +

OUT +

PIN号

功能

惠斯通电桥的负输出电压

地

惠斯通电桥的供电电压

惠斯通电桥的正输出电压

绝对最大额定值

参数

电源电压

储存温度

超压MS5401 -AM

MS5401-APF

MS5401-BPF

MS5401-BM

MS5407-AM

MS5412-BM

MS5470-AM

符号

VS +

条件

TA = 25℃

民

-40

最大

+125

180

单位

笔记

(1)

(2)

TA = 25

BAR

笔记

1） MS5401 - BM为合格参照ISO标准2281 ，并能承受11巴的绝对压力下在

盐水或分别为100米防水。

2） MS5407 - AM是合格参照ISO标准2281和可以承受的绝对压力

21条在盐水中或分别200米水。

DA54xx_014

000054xx280 ECN 1243

2009年6月15日

电气特性

高灵敏度版本

（ VS + = 5 V ， TA = 25℃ ）

参数

工作压力范围

MS5401-AM

MS5401-APF

满量程（ FS ）

灵敏度

线性

工作压力范围

MS5407-AM

满量程（ FS ）

灵敏度

线性

工作压力范围

MS5470-AM

满量程（ FS ）

灵敏度

线性

工作温度范围

零压力偏置

压力滞后

温度迟滞

所有范围

重复性

电桥电阻

温度COEF网络cient

阻力

跨度温度系数

偏移量的温度系数

民

190

322

250

3.6

-40

3.0

+2 400

-1 500

-80

典型值

240

±0.15

392

±0.15

310

4.4

±0.25

0.3

3.4

2 900

-1 900

最大

290

±0.4

462

±0.4

370

5.3

±0.50

125

±0.20

0.8

±0.20

3.8

+3 300

-2 300

+80

单位

BAR

毫伏/条

％ FS

BAR

毫伏/条

％ FS

BAR

毫伏/条

％ FS

PPM /°C的

μV/°C

笔记

1, 6

2, 6

3, 6

4, 6

5, 6

笔记

1 ）在偏差的最小二乘最佳拟合线以上压力范围一半满量程压力。

输出电压后1压力循环在工作压力范围内的任何压力2）最大差

范围内。

3 ）最大的区别在后一个热周期偏移在-40 °C至+ 125 °

4）在10个压力循环同2）。

5）从25 °到60°斜坡的终点的直线的

6 ）未经过100％测试。

DA54xx_014

000054xx280 ECN 1243

2009年6月15日

电气特性（续）

高线性度版本

（ VS + = 5 V ， TA = 25℃ ）

参数

工作压力范围

MS5401-BM

MS5401-BPF

满量程（ FS ）

灵敏度

线性

工作压力范围

MS5412-BM

满量程（ FS ）

灵敏度

线性

工作温度范围

零压力偏置

压力滞后

温度迟滞

所有范围

重复性

电桥电阻

温度COEF网络cient

阻力

跨度温度系数

偏移量的温度系数

民

120

-40

3.0

+2 400

-1 500

-80

TYPE

150

±0.05

150

12.5

±0.05

0.3

3.4

2 900

-1 900

最大

180

±0.2

180

±0.15

125

±0.20

0.8

±0.20

3.8

+3 300

-2 300

+80

单位

BAR

毫伏/条

％ FS

BAR

毫伏/条

％ FS

PPM /°C的

μV/°C

笔记

1, 6

2, 6

3, 6

4, 6, 7

5, 6

笔记

1 ）在偏差的最小二乘最佳拟合线以上压力范围一半满量程压力。

输出电压后1压力循环在工作压力范围内的任何压力2）最大差

范围内。

3 ）最大的区别在后一个热周期偏移在-40 °C至+ 125 °

4）在10个压力循环同2）。

5）从25 °到60°斜坡的终点的直线的

6 ）未经过100％测试。

7 ） MS5412 - BM ：马克斯。 0.3 ％ FS

8 ）该传感器系列的线性优化;它适用于具有较高压力的应用场合

线性度的要求是不那么重要。

DA54xx_014

000054xx280 ECN 1243

2009年6月15日

应用信息

一般

该MS54xx是一个小型化的绝对压力传感器系列已被设计成表面安装

器件（SMD ）。它的主要优点是在半导体传感器的高性能和一种设计，它

使得它适用于要求小尺寸和成本效率的应用程序。

该MS54xx的传感器元件包括一个微机械加工的硅膜与硼硅玻璃的

在真空条件下的晶片键合到背面侧为参考压力。植入式电阻器利用压电的

阻效应来感测压力施加到该膜上。该传感器采用特殊工艺安装

从而允许最佳的零点稳定性使其适用于直接印刷电路板组装设备。

典型应用该微型压力传感器MS54xx是高度的测量和

在医疗和工业设备的大气基准压力，以及在汽车计量

和家庭应用，消费类电子和气动。

满量程

压力

1条

7条

12条

70条

发动机控制，潜水电脑

高灵敏度版本

(MS54xx-Axx)

变仪，高度计，气压计

潜水手表，胎压，

电子秤

高线性度版本

(MS54xx-Bxx)

高端高度表，

医疗器械

高端电子秤

气动刹车，潜水电脑

湿度，缺水保护

MS54xx -XM与金属帽：

该MS54xx -AM / -bm具有抗腐蚀，防磁金属保护盖装满了硅凝胶

加强保护，防止潮湿。该凝胶的性质确保了传感器的功能，即使在时

水直接接触。此功能可用于防水的手表或其他应用中，直接用水有用

不能避免接触。尽管如此，用户应避免例如像盐硬物料的干燥

颗粒上的有机硅凝胶的表面。在这种情况下，最好是用干净的水冲洗之后。特别护理

已经采取不以机械损坏凝胶。损坏的凝胶可能导致空气进入，并

因此不稳定的传感器信号，尤其是如果损害是靠近传感器表面。

金属罩，以避免在端部内的任何电效应制成的特殊防腐合金

产品。在MS5401 - BM为合格参照ISO标准2281和可承受的11的压力

扎在海水中。用于资格海水浓度41克海盐的每1升去离子的

水。在MS5407 -AM满足盐水试验用21巴的压力的能力。

对于在ISO 2281标准规定的水下作业是密封的传感器，橡胶是重要的O-

环周围的金属帽。任何盐的水在到达接触侧的传感器（陶瓷和焊区）可能会导致

永久性的损坏。特别是对于"water耐100 m"手表和潜水电脑，它是

建议提供来自传感器的背侧的稳定的机械推动器;否则，

超压可以在传感器推向后乃至变形，电子板，其上的传感器是

装。

MS54xx - xPx用塑料盖：

该MS54xx - xPx的传感器芯片由降硅凝胶的保护。该凝胶的性质保证

功能，即使在潮湿的环境中的传感器。

DA54xx_014

000054xx280 ECN 1243

2009年6月15日