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研制阶段的可靠性控制

发布时间:2012/4/26 20:04:00 访问次数:967

    为保证可靠性指标要求的实现,在设计时ULN2803APG要对研制阶段提出有关的可靠性控制要求,特别是对关键原材料的选用和质量均匀性、关键工艺的控制、关键设备的过程能力和检测手段等提出明确的控制要求。
    1)提出关键原材料的可靠性控制要求
    硅外延片是硅微波脉冲功率晶体管研制中的关键原材料,在硅微波脉冲功率晶体管生产中对硅外延片的要求很高,因硅外延片的因素使得大量芯片报废,可靠度非常低,其原因是硅微波脉冲功率晶体管的单胞管芯面积很大,任何一点疏忽都会使可靠性下降甚至报废。因此谩计时对硅外延片的可靠性控制要求应贯穿到从进料检验到生产过程的每一个环节。
    2)提出关键工艺的可靠性控制要求
    硅微波脉冲功率晶体管研制中有些工艺是必须工艺,且工艺难度较大又易出现不稳定的现象,直接影响产品的可靠性,因此,攻克工艺上的技术难关并使之稳定是工艺可靠性控制的要点。
    3)提出关键设备的可靠性控制要求
    生产设备对可靠性的影响是不可忽视的,必须清楚认识到所需设备,特别是关键设备必须达到工艺设计所需要的能力,否则不能满足工艺设计的可靠性要求。例如,原有一台光刻机其光刻精度是1弘m,然而要刻1pm及1pm以下的线条对于该光刻机来说显然是不能胜任的,虽然曾用某种技术刻到1pm以下,但伴随产生了一些其他依然难以解决问题,自从更新设备后,所有问题都迎刃而解。
    4)提出关键检测手段控制要求
    由于工艺流程一般很长,及时检测出各道工序存在的可靠性问题将有助于及时发现、解决出现的问题,这对于提高可靠性、缩短研制周期有很大帮助。因此,大力加强、完善各种检测手段和改进检测技术,特别是一些关键的检测技术是可靠性控制的关键一环。

    其他可靠性控制要求,除了上述方面需要在设计时提出可靠性控制要求外,还需要对涉及工艺制定的正确性、完整性和严密性、工艺的执行情况(包括工艺执行人的素质)、设备使用中对工艺的保证程度(有无负作用等)、环境的影响(如空气的
洁净度,包括人员的影响)、温度、湿度、振动情况、气流扰动、设备内部的气氛污染等提出控制要求。在通常情况下,这一方面的影响往往未能引起足够的重视,而很多时候往往是这些微小的隐患影响了器件的长期可靠性。

    为保证可靠性指标要求的实现,在设计时ULN2803APG要对研制阶段提出有关的可靠性控制要求,特别是对关键原材料的选用和质量均匀性、关键工艺的控制、关键设备的过程能力和检测手段等提出明确的控制要求。
    1)提出关键原材料的可靠性控制要求
    硅外延片是硅微波脉冲功率晶体管研制中的关键原材料,在硅微波脉冲功率晶体管生产中对硅外延片的要求很高,因硅外延片的因素使得大量芯片报废,可靠度非常低,其原因是硅微波脉冲功率晶体管的单胞管芯面积很大,任何一点疏忽都会使可靠性下降甚至报废。因此谩计时对硅外延片的可靠性控制要求应贯穿到从进料检验到生产过程的每一个环节。
    2)提出关键工艺的可靠性控制要求
    硅微波脉冲功率晶体管研制中有些工艺是必须工艺,且工艺难度较大又易出现不稳定的现象,直接影响产品的可靠性,因此,攻克工艺上的技术难关并使之稳定是工艺可靠性控制的要点。
    3)提出关键设备的可靠性控制要求
    生产设备对可靠性的影响是不可忽视的,必须清楚认识到所需设备,特别是关键设备必须达到工艺设计所需要的能力,否则不能满足工艺设计的可靠性要求。例如,原有一台光刻机其光刻精度是1弘m,然而要刻1pm及1pm以下的线条对于该光刻机来说显然是不能胜任的,虽然曾用某种技术刻到1pm以下,但伴随产生了一些其他依然难以解决问题,自从更新设备后,所有问题都迎刃而解。
    4)提出关键检测手段控制要求
    由于工艺流程一般很长,及时检测出各道工序存在的可靠性问题将有助于及时发现、解决出现的问题,这对于提高可靠性、缩短研制周期有很大帮助。因此,大力加强、完善各种检测手段和改进检测技术,特别是一些关键的检测技术是可靠性控制的关键一环。

    其他可靠性控制要求,除了上述方面需要在设计时提出可靠性控制要求外,还需要对涉及工艺制定的正确性、完整性和严密性、工艺的执行情况(包括工艺执行人的素质)、设备使用中对工艺的保证程度(有无负作用等)、环境的影响(如空气的
洁净度,包括人员的影响)、温度、湿度、振动情况、气流扰动、设备内部的气氛污染等提出控制要求。在通常情况下,这一方面的影响往往未能引起足够的重视,而很多时候往往是这些微小的隐患影响了器件的长期可靠性。

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