1．洁净技术       HA5025IB
    洁净技术(clean room)又称洁净室技术，是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪声、振动及照明、静电控制在某一要求范围内，而所给予特别设计的房间。也就是不论外面环境空气条件如何变化，其室内均保持设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。
    洁净技术从应用领域可以分为生物洁净室和工业洁净室两大类。工业洁净室以无生命微粒的控制为对象，其中电子制造业占有很大比例。以微电子制造为代表，包括光磁产品制造（光盘、胶片、磁带生产）、平板显示、计算机硬盘和其他精密光电产品的制造、检测和包装等工作都离不开洁净室。
    不同行业、不同产品、不同加工工序对洁净室有不同要求，为此国际标准组织ISO及一些先进制造国家都制定了相应标准，例如国际标准组织的IS0 14644-1《空气洁净度等级划分》及美国的FED-STD-2标准等。中国在2001年发布的GB 50073-2001国家标准《洁净厂房设计规范》(Code for Design of Clean Room)，在空气洁净度等级划分上，明确等效采用国际标准IS014611-1。

    2．半导体制造与环境
    由于集成电路制造属于超精密制造，因此对制造环境有极高的要求，芯片必须在洁净室乃至超净室条件下生产。图7.5.1表示人类头发与45nm特征尺寸大小比较示意图头发丝对于45nm半导体制造特征尺寸而言，绝对是庞然大物，可以想象头发丝落在芯片上会是什么结果。如图7.5.2所示为晶圆上微粒嵌入及造成污染失效示意与实物放大图。

    
    3．芯片制造环境要求          HA7210IF
   加工半导体芯片要求级别最高的洁净室，也称为超净室，要求：
   ①1m³中粒径在0.lμm以上的浮游微粒数在10个以下（IS01级）；
   ②温度保持在(23±1)℃；
   ③湿度保持在(45±5)%;
   ④污染气体分子保持在十亿分之一以下。
    为了确保超净室的清洁度，要使用够滤掉99.9999%以上的微粒的化学过滤器，对构成超净室的材料和设备器材进行密封，采取措施控制室内气压、气流的走向，需要同时兼顾操作性、经济性和环境保护等问题。此外对于工作人员进入超净室的防护要求以及物料出入的管理措施，对保证超净室的清洁度都是必不可少的。