用百分表（精度为0.01 mm）对工作台两个方向的重复定位精度进行了测试。首先将工作台某一位置进行零点标定，并向一个方向给出一定步数的脉冲，然后再返回相同的步数，记录与零点的偏差，重复进行10次，计算这一步数的重复定位误差。在x轴方向取1.4 mm（35步），2.8 mm（70步）和4.8 mm（120步），在y轴方向取1.2 mm（30步），2.4 mm（60步）和4.0 mm（100步）。计算结果是：在x方向上的标准偏差分别为σ1＝0.018 mm，σ2＝0.025 mm和σ3＝0.032 mm，平均标准偏差σx＝0.025 mm；在y方向上的标准偏差分别为σ1＝0.009 mm，σ2＝0.014 mm和σ3＝0.023mm，平均标准偏差σy=0.015 mm。在x轴方向上的重复误差分别为△x1＝0.016 mm，△x2=0.019 mm，△x3＝0.026mm；在y轴方向上的重复误差分别为△y1＝0.006 mm，△y2＝0.010 mm，△y3＝0.017 mm。测试结果表明，显微工作台在x和y方向上的重复定位误差分别为△y1＝0.02 mm，△y＝0.011 mm，满足了精度要求。

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