双极工艺光电二极管
发布时间:2008/12/3 0:00:00 访问次数:457
图1中给出了一种基于标准双极工艺的n+-p型光电二极管[36],其中的n+区是由n+埋层以及插入的n+集电极注入形成,p区则是直接利用轻掺杂的p型衬底。图中n+区与p+区的间距为5 gm,n+区的面积被定义为光电探测器的面积。
图1 双极工艺n+-p型光电二极管
这种结构能够高效地进行光电转换,在外加偏压为双极电路工作电压(4.2 v)时的量子效率η=30%°但是由于受前面叙述的耗尽区外光生载流子缓慢扩散的影响,其响应速度较慢。该探测器与一跨阻抗为1.8 kω的双极型前置放大器单片集成,当探测器面积为100×100μm2,入射光波长/1=850 nm时,可以测得开眼图比特率达到150 mb/s。当n+区的面积减小到10×10 llm'时,该光电二极管的瞬态特性将得到显著改善,入射光波长肛8⒛nm时,上升时间和下降时间分别为40 ps和400 ps。根据第一节论述的保守的数据率估计式dr=1/3f(,这种指标的探测器可以实现850 mb/s的数据传输能力。
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图1中给出了一种基于标准双极工艺的n+-p型光电二极管[36],其中的n+区是由n+埋层以及插入的n+集电极注入形成,p区则是直接利用轻掺杂的p型衬底。图中n+区与p+区的间距为5 gm,n+区的面积被定义为光电探测器的面积。
图1 双极工艺n+-p型光电二极管
这种结构能够高效地进行光电转换,在外加偏压为双极电路工作电压(4.2 v)时的量子效率η=30%°但是由于受前面叙述的耗尽区外光生载流子缓慢扩散的影响,其响应速度较慢。该探测器与一跨阻抗为1.8 kω的双极型前置放大器单片集成,当探测器面积为100×100μm2,入射光波长/1=850 nm时,可以测得开眼图比特率达到150 mb/s。当n+区的面积减小到10×10 llm'时,该光电二极管的瞬态特性将得到显著改善,入射光波长肛8⒛nm时,上升时间和下降时间分别为40 ps和400 ps。根据第一节论述的保守的数据率估计式dr=1/3f(,这种指标的探测器可以实现850 mb/s的数据传输能力。
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