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杂质分布的计算模拟

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:352

至此,ⅰ区杂质as在ⅰ、ⅱ、ⅲ区中的浓度分布 c1(x,t)c2(x,t)c3(x,t)均已求出。同理,可以得到ⅲ区低浓度杂质在ⅲ、ⅱ、ⅰ区中的分布c4(x,t)c5(x,t)c6(x,t)。令ⅰ、ⅲ区杂质的分凝系数为m0m1k0=1/m0k1=1/m1两种杂质分布相迭加,得ⅰ、ⅱ、ⅲ区净杂质浓度分布:

至此,ⅰ区杂质as在ⅰ、ⅱ、ⅲ区中的浓度分布 c1(x,t)c2(x,t)c3(x,t)均已求出。同理,可以得到ⅲ区低浓度杂质在ⅲ、ⅱ、ⅰ区中的分布c4(x,t)c5(x,t)c6(x,t)。令ⅰ、ⅲ区杂质的分凝系数为m0m1k0=1/m0k1=1/m1两种杂质分布相迭加,得ⅰ、ⅱ、ⅲ区净杂质浓度分布:

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