用力来表征的测量方法
发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:348
用力来表征键合强度的测量方法主要是直拉法，直拉法(tensile/shear test) 是用拉开键合片的最大拉力来表示的，因为拉开键合片的力变化过程并不能测出，所以不能用式（2.47）来求出键合强度。图2.23给出了两种直拉法的实验结构：图2.23(a)为用相反方向的拉力垂直拉开键合片的结构示意图；图（b）为将键合在厚晶片上的薄晶片拉下的结构示意图。图2.23(a)中结构对样品从键合片上切下来所带来的残余损伤非常敏感。在1990年abe针对这一缺点
用力来表征键合强度的测量方法主要是直拉法，直拉法(tensile/shear test) 是用拉开键合片的最大拉力来表示的，因为拉开键合片的力变化过程并不能测出，所以不能用式（2.47）来求出键合强度。图2.23给出了两种直拉法的实验结构：图2.23(a)为用相反方向的拉力垂直拉开键合片的结构示意图；图（b）为将键合在厚晶片上的薄晶片拉下的结构示意图。图2.23(a)中结构对样品从键合片上切下来所带来的残余损伤非常敏感。在1990年abe针对这一缺点
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