扩散泵工作区域扩展的探索

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:371

[简介]: 本文介绍通过研制扩散增压泵以扩展传统扩散泵高压强段工作区域的探索，详细介绍了扩散增压泵研制过程中获取的抽气能力调试各类数据，并试图探索及掌握影响扩散增压泵抽气能力的各类因素，以满足其增大抽气量的需要。

扩散泵工作区域扩展的探索

任倬

上海曙光机械制造厂

【摘要】本文介绍通过研制扩散增压泵以扩展传统扩散泵高压强段工作区域的探索，详细介绍了扩散增压泵研制过程中获取的抽气能力调试各类数据，并试图探索及掌握影响扩散增压泵抽气能力的各类因素，以满足其增大抽气量的需要。

【关键词】扩增泵、高压强段抽速、扩展工作区域

一、前言

油扩散泵的应用量大面广，对各类气体都能有效抽气，还具有成本低、无振动噪音、使用及维护保养方便等优点，但其工作区域，尤其是高压强段抽气范围，却受很大局限。

问题的提出在于一些大放气量的真空镀膜设备如磁控溅射镀膜机、卷绕式真空镀膜机等，特别是后者，其工作真空常在10^-1pa范围，且有持续的大放气量。因而在真空系统的真空泵选配上要求主抽气泵在10^-2~10^-1pa范围内要有较大的抽速，且极限真空要优于10^-3pa。传统的油扩散泵，一般在10^-3~10^-2pa一个半数量级范围内保持最大值抽速，其抽速曲线的恒定满抽速段普遍延伸至7×10^-2pa左右（凸腔泵还要差一些）。如进气口压强超过临界范围，便会导致油蒸汽射流的破坏，抽速曲线开始急剧衰减。而油增压泵虽能在10^-1~10pa约二个半数量级内具备有效的抽速，但10^-2pa范围抽速太差，更欠缺的是极限真空只在10^-2pa水平。这就使得设计镀膜机时在真空系统的真空泵选配上，为如何兼顾真空度和抽气效率而颇费踌躇。

显然，这一问题的解决不是扩散泵或油增压泵所能单独胜任的，只能