摘 要：半导体设备业总是走在半导体工业的前列。面对日益增长的投资竞赛，能够承担得起的客户，在全球屈指可数，导致半导体设备工业要求的变革的呼声越来越高。

半导体设备业总是走在半导体工业的前列。面对日益增长的投资竞赛，能够承担得起的客户，在全球屈指可数，导致半导体设备工业要求的变革的呼声越来越高。

任何工业总有自身的发展规律，并且在实践之中不断的修正，不管如何，总会有新的平衡点，相信全球半导体设备工业也会在新的循环周期中跟随前进。

在摩尔定律指引下，全球半导体工业循环一浪高一浪的向前推进。人们把半导体工业比喻为"吞金兽"，说明该工业需要高投入。然而在半导体工业的固定资产投入之中，来购买半导体设备比例至少达75％。表1、表2、给出了2003～2008年全球固定资产投入和设备花费的预测。

1 半导体设备工业是先头兵

自1972年发明cmos工艺以来，似乎至今还没有更好的替代品。反映硅基半导体在理论上已无大的突破，半导体工业仅是一门加工技术。然而在半导体工业的发展历程中，设备工业经过逐步演变，由开始时工业与设备的分割到目前设备总是固化了一定的技术，成为半导体工业进展的先头兵。今天购买任何的设备表征一定能实现某类工艺技术，同样，按照itrs兰图2004年为90nm节点器械生产。表明半导体设备厂商已经开始投入研发，正在解决65nm，甚至45nm以下技术的工艺设备。足见半导体设备业必须走在半导体工业的前列。今天在一定意义上谁有能力购买的起设备，谁就能制造出更先进的器件。可以看到在半导体工业的发展中，设备工业占有非常特殊的重要地位。

同样半导体设备工业已成为工业的晴雨表，通常半导体工业的兴衰，由半导体设备工业提前6个月的订单来反映。

2 半导体设备工业的重要地位

如图1所示，随着时间的推进，从20世纪70年代向21世纪过渡，半导体设备制造商的地位，已不再是提供硬件设备，而同样能提供软件，包括工艺菜单、工艺控制及工艺集成，显见半导体设备工业的重要地位。

3 近两年来半导体设备工业发展的新思路

3.1 技术购买及产能购买

在2003年美国设备材料展览会上，前应用材料公司董事长摩根先生曾为当时的半导体设备工业作了"技术购买"及"产能购买"的论述。它的论点是那时全球半导体设备工业还处在技术购买阶段，客户为了研发需要，才购买少量的设备。因此，只有到了产能购买阶段，半导体设备工业才能真正开始复苏。

由此反映半导体设备工业开始进入一个新时期，两种不同的购买阶段，其界线开始非常明显。

3.2 质疑itrs

国际工艺路线图itrs象明灯一样，引领半导体工业的前进，多年来，人们总是遵循它，但是从2003年末起，首先是半导体设备领域，有人开始质疑，为什么总要追随itrs，人们为了itrs付出了多大的人力、物力及财力，但是究竟其回报在哪里？

如φ300mm硅片，据统计全球已为之投入200亿美元，投入的回收周期需30年，显然这是一个不经济的答案。

工业进步到了今天，生活这样的疑问是完全正常的。因为事实就是如此，将来能够购买最先进设备的厂家，在全球可能也就剩下10家左右。

3.3 缩短周期

2004年初美国应用材料公司的新任ceo，斯泼林脱先生关于全球半导体设备工业发表了非常重要的论点，认为设备工业必须变革，由设备制造商提供设备给芯片制造商，然后芯片制造商生产ic产品，提供能获利市场，其周期至少要10个季度。日新月异的市场变化，半导体工业的风险实在太大。

3.4 提供买得起的设备

最近intel认为半导体设备工业应该能提供买得起的设备，此话出自intel之口，可见半导体设备的价格已经高到何种程度，一台193nm的浸没式光刻机需1 500万美元以上，普通的一台干法刻蚀机至少300万美元，更何况半导体工艺是多道工序，需要根本产能购买多台，其成本已经到了难以承受阶段。 随着工艺复杂度的提高，设备的价格节节上升，有识之士已经提出能否搞小型线（miniline）或者一机多功能来满足客户的特殊需要。

3.5 服务模式的改进

设备安装验收完毕之后，提供1年的免费服务期，过后客户需要付费与设备供应商订立服务合同，这是芯片生产线中成本的列支项目。但是随着芯片生