计量是半导体制造的一个重要部分，在生产设备内测量多种气体的浓度，可以确保满足工艺余量，同时尽量减少浪费。以前的解决方案依赖于光发射光谱测量和残余气体分析仪，但这些传统方法已不能满足当今先进存储器和逻辑工艺所需的速度和灵敏度。

相反，Aston使用创新质谱技术，采用同类最佳传感器，可提供快速的结果和出色的灵敏度，以及抵抗腐蚀性气体和冷凝物所需的坚固性。

Atonarp与韩国ATI公司合作,为该地区客户提供蚀刻,CVD、空间ALD和Sub-fab应用的综合解决方案。

易于安装到资产中，同时保持机械耦合信号的完整性

具有IEPE数据输出格式的宽带宽MEMS加速度计传感器

IEPE、模拟输入带宽从DC到54kHz的高保真数据采集(DAQ)解决方案

嵌入式网关捕捉和存储原始数据，用于本地或联网处理

使用ADI的IIO示波器应用实时显示频域数据

直接将传感器数据流传输至热门的数据分析工具，例如Python和MATLAB®

CbM开发平台主要由四种不同的元件构成整个组合解决方案。

构成CbM开发平台的元件,高度精准、高保真的数据捕捉和处理压电传感器的高成本都阻碍了对重要性较低的资产实施状态监控。

使用经济高效的方法来持续监控中低等重要性的资产。我们可以利用先进的振动传感技术，轻松识别和修复资产上不必要的磨损，帮助延长资产的使用寿命。这也有助于提高设备的整体效率，减少机器或工艺停机时间。