中科院知识创新工程重要方向项目“声学微机电器件与模块”，近日通过中科院高技术局组织的验收，项目的研究工作和完成情况得到了专家组的很高评价。

    该项目于2000年7月开始进行，至2003年底完成了研究内容，取得了一批创新性成果。项目设“硅微电容传声器”与“微声可开关滤波器组模块”两个课题，主要由中科院声学所承担攻关任务，另外中科院半导体所参与了“硅微电容传声器”课题的研究。

   “硅微电容传声器”是国内第一个圆形振动膜结构传声器，填补了国家空白。部分样品已经提供给用户测试试用，并已得到用户的认可和小批量订货。完成的样品全面达到并部分超过原定指标，特别是最关键的灵敏度指标大大超过原定指标，验收委员会认为其整体性能达到了国际先进水平。

“微声可开关滤波器组模块”课题完成了直扩/跳频通信系统抗干扰接收机用声表面波可开关滤波器组模块的研制，关键技术取得了突破。验收委员会认为其“整体水平处于国内领先水平，国外也未见类似报道”。

通过该项目的实施，形成了“声学微机电系统”这一的全新的学科方向，其研究成果在移动通信、无线接入网络传感器系统、医疗以及国家安全等方面具有重要的应用价值，发展前景十分广阔。目前，中科院声学所正与有关企业密切合作，进一步优化系统与工艺，加快实现前期科研成果产业化的进程。

（转自 中国电子元器件网）